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标题:[未解决]【转载】【讨论】等离子体抖动

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
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发表于 2015-6-18 15:29 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
要么是进样系统气流不稳定导致的，要么是RF电源输出不稳定
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发表于 2015-6-18 15:30 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #11 小黄 的帖子

是进样系统不稳定导致。
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发表于 2015-6-18 15:30 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #8 ay123 的帖子

测完样后，大家的做法相近，我们的冲洗时间比较短。
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发表于 2015-6-18 15:31 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #13 坚持2011 的帖子

我们保持时间 都是这样，尽量将管道冲洗干净
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发表于 2015-6-18 15:31 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #14 ay123 的帖子

测完样后，这个步骤很关键，这样才能保证下次使用时正常。
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发表于 2015-6-18 15:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #15 坚持2011 的帖子

否则下次有问题要一个一个去排除了
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发表于 2015-6-18 15:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #16 ay123 的帖子

测完样品后，结尾工作还是要做好。
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发表于 2015-6-18 15:34 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
测某些样品时，出现过抖动。
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发表于 2015-6-18 15:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #3 坚持2011 的帖子

测纯水都抖动，功率管坏了。
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发表于 2015-6-18 15:36 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #18 小红 的帖子

怎么处理的呢？
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