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标题:[未解决]AR-XPS中氧的平均自由程

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rcbltd[使用道具]
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AR-XPS中氧的平均自由程

请教高手!
在做AR-XPS测试的时候,需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程,有人知道是多少吗?

background:我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式,公式中有个未知量是“平均自由程”
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maomi520[使用道具]
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