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标题:【求助】涡轮泵挂彩了?记一次质谱故障

dior[使用道具]
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分子泵,很贵的。
可能有异物进入泵了吧
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feixi[使用道具]
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他大概是指那种涡轮叶片都打碎了的照片。估计是泵的轴承歪了,动态平衡被破坏了后叶片高速旋转时候碰到周边就碎了,或者有什么杂质垃圾掉到掉到分子泵里面去了。

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是的,是这个原因。
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