【转载】【求助】EDS如何半定量或者定量分析？ - 分析百问

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small2011[使用道具]
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小中大

如果是能讓電子穿透過去的試片~其實都足夠薄了...
可以忽略厚度造成的影響(與其他參數相對比較下)

ay123[使用道具]
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小中大

有的文献说是100nm，如果不满足薄膜近似，就要做ZAF修正，考虑到由于厚度原因而产生的吸收，以前投文章的时候就被审稿人提了这个问题。我觉得EDS一般就是半定量，做到完全定量很难。用标样来做定量分析，SEM里用的多，TEM里好像比较少。

ay123[使用道具]
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如果样品厚度不满足薄膜近似做定量分析时需要要考虑厚度因素，样品厚度增加，对低能峰的吸收也会增加，需要做ZAF修正。