X-荧光

听说可以用XRF来测量薄膜厚度，并且可以测多层膜的厚度，但是不知道原理是什么。请版上的各位老师介绍一下技术原理与操作时注意要点。
        万分感谢！

检测对厚度有要求，但是测厚度还没有应用过

x荧光光谱分析厚度其实是非常简单的，但却需要1个重要的条件--就是标准样品，有了标准样品才能测厚，但也不能测无限厚，其厚度不能超过120左右微米。此外，Uniquant 无标样分析软件自带厚度测量程序且能测里多层膜厚。

能不能再具体一点，信息太少了。求原理、计算方法、参考文献等等。