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标题:【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况

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发表于 2015-8-26 11:55 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况

在AAO模板孔内镀了两层膜，AAO是带有铝基的单通模板，孔径为50个nm，孔深1μm，所镀膜层厚度约为10nm（只是理论估计），我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况，如何在不损伤膜的质量的情况下获得比较好的断面？求高人解答。
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发表于 2015-8-26 11:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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掰断或碾碎，在电镜下找断面看
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蓝色雨梦[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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这个恐怕做不到，模板的铝基和氧化层差不多厚，铝的延展性很好，怎么掰断或碾碎
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PP熊[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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是可以的，现在液氮里冻一下再掰断
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wwwh[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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直接扳断然后贴在竖着的样品台上，如果要科学一点，就在液氮里面脆断，但是我觉得没那必要
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zouyou[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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带基板的确实有点麻烦，液氮脆一下掰断试试吧，要还不行可能要用激光啥的切开了
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jishiben[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:59 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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可以采用激光切割，比较科学和可靠，一般做TEM的实验室都有这个，SEM实验室很少有这个
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huali[使用道具]
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发表于 2015-8-26 11:59 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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方法一：将膜（基面）用502胶或者其他万能胶粘在玻璃片上（或者其他硬质易掰断的材料如PMMA板、硅片），在玻璃背面用玻璃刀划一道，再掰断，AAO也就一起断裂了。
方法二：将膜浸入液氮，等几乎无气泡逸出后，用镊子的直边掰断。
方法三：将方法一中粘有AAO膜的基板，按方法二在液氮中掰断。
。。。
另外，最平整、无应力的制备方法应该是离子束抛光。不过你这个应该用不着。
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发表于 2015-8-26 12:00 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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用聚焦离子束FIB制样，可以保证制备到含孔的TEM样品，非常方便。
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小妖精@[使用道具]
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 小中大

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哈 你那儿常用FIB做TEM的样品吗？有机的能做不？ 我正找呢。 有的话交流下哈。
楼主是问SEM制样嘛，用于SEM的有专用的离子束抛光机，比FIB还是经济实惠多了。
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