【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况 - 经验共享

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标题:【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况

aaby[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:01 资料个人空间短消息加为好友

小中大

单纯为了看氧化铝的断面直接去掉背铝就是，饱和氯化铜或者氯化锡，然后掰碎

大大[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:02 资料个人空间短消息加为好友

小中大

我并不是做PPA的，我是在PPA的基础上做一些其他工艺，不过我这里有一个PPA的群，不知道你有没有兴趣

小女人@[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:02 资料个人空间短消息加为好友

小中大

模板有200微采用方法一也能做到吗？

灵魂[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:03 资料个人空间短消息加为好友

小中大

聚焦离子束自然是好，可惜自己这里没设备

PP熊[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:03 资料个人空间短消息加为好友

小中大

嗯，楼上的放上我都用过，也做过很多其他的尝试，后来发现，其实最简单和有效的方式是：在做SEM的时候，找个截面的放样台，将样片用剪刀剪成长条型的，然后一端贴在放样台的表面，随后用镊子将样片另一端掰弯贴到放样台的侧壁上（足见，你的样片大小要能覆盖住放样台的一部分表面和截面）。然后测试的时候，低倍下找裂缝，可以根据你氧化层的厚度，确定你需要找的裂缝大小，之后再高倍拍摄截面形貌就行了。

efp[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:04 资料个人空间短消息加为好友

小中大

其实这样的方法我也试过，我是直接将样品弯折了180°，然后将其粘贴在样品台上观察的。你的意思我基本理解了，我想知道的是弯折的角度大概多大，样品的厚度是否有影响？你在这方面经验丰富

蓝色雨梦[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:05 资料个人空间短消息加为好友

小中大

这个方法有点问题，就是剪刀剪样品的时候有可能，注意是有可能，导致结构变形。

jishiben[使用道具]
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发表于 2015-8-26 12:05 资料个人空间短消息加为好友

小中大

我这FIB和TEM都有，不过做电子材料的。以前没有接触过有机的。不过别的FIB能做到的我都应该能做到。要学习下，哈哈哈哈。

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