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标题:【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS

dadaai[使用道具]
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【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS

检测薄膜中的微量元素除了用XPS,还能用什么检测手段?
如题~~
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yayayu[使用道具]
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扫描电镜或者透射电镜的能谱。
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小妖精@[使用道具]
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轻元素,微量,EDS能测出来吗?
由于是薄膜,如果做TEM的话基底的影响可能会比较大吧?而且基底也有同种元素,仍然可以用TEM的能谱测吗?
谢谢~
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aaby[使用道具]
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卢瑟福背散射,中子衍射。。。。很多啊
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danzi[使用道具]
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EDS如果量很少的话是测不出来的,并且轻元素也是测得相当不准的。
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886爱[使用道具]
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如果就单单扫描不同杂化的碳,还有什么检测手段啊,新手上路,
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