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标题:【讨论帖】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵...

wanglaoshi[使用道具]
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分子泵,扩散泵都是高真空获取设备,一些工艺目前还是在使用扩散泵的,扩散泵维护保养容易,分子泵可以提供洁净的高真空环境,都是,分子泵的轴承寿命有限,需要定期更换,维护保养成本较高,这二种泵都是可以在10帕左右就可以工作了,分子泵的极限真空或者他的可以达到的极限真空是1E10-7TORR请大家注意不要被不是专业的人给忽悠了,要达到1E10-10torr需要配合离子泵才可以达到
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feixi[使用道具]
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QUOTE:
原帖由 wanglaoshi 于 2015-9-21 16:35 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
分子泵,扩散泵都是高真空获取设备,一些工艺目前还是在使用扩散泵的,扩散泵维护保养容易,分子泵可以提供洁净的高真空环境,都是,分子泵的轴承寿命有限,需要定期更换,维护保养成本较高,这二种泵都是可以在10帕左右就可以工作了,分 ...

一般这个我们都是从仪器需要上才会关注的
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喵咪[使用道具]
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现在很少有厂家主动配扩散泵,扩散泵便宜很多的。分子涡轮泵在MS中占了相当的成本,泵大泵小差很多。
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feixi[使用道具]
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QUOTE:
原帖由 喵咪 于 2015-9-21 16:35 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
现在很少有厂家主动配扩散泵,扩散泵便宜很多的。分子涡轮泵在MS中占了相当的成本,泵大泵小差很多。

现在在购买仪器的时候厂家都会告知详细信息等
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555444[使用道具]
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安捷伦也可以配扩散泵,价格便宜一些。不过一般还是配分子泵。
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