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我个人也感觉Raman和XRD测试的结果相差很大,我的纳晶硅薄膜样品,测XRD,只要出现衍射峰,根据谢乐公式计算的“晶粒”尺寸就是18nm左右,不同处理方法得出来的差不多,但实际上应该是有比较大的区别的,但不知道为什么任何样品的晶粒尺寸都是16-18nm,根本没法说变化。我也用Raman光谱峰位变化计算过,Raman得到的4-5nm的样品XRD计算是十几纳米。Raman计算晶粒感觉好像也不好说,毕竟Raman峰位受应力、热效应等很多因素的的影响。我所用的Raman光谱仪JY HR800之前用单晶硅校正峰位后,得出纳晶硅薄膜样品峰位在516-518左右,现在换了一个激光器,同样单晶硅校正峰位后,纳晶硅薄膜峰位在510-513附近,这样和以前Raman计算的晶粒尺寸就差的比较多了