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标题:【求助】溶胶凝胶制备的VO2薄膜

zouyou[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:02 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】溶胶凝胶制备的VO2薄膜

我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜，用SEM测量时，测量的区域一会儿（小于1分钟）就会发黑，影响测量，如图。请问，谁碰到过并了解这是怎么回事。大家交流下。


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2015-10-8 15:02
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rrra6[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:03 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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样品的导电性不好 在聚焦的时候局部电压过高 样品温度过高而变黑的！
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发表于 2015-10-8 15:03 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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同意二楼的看法 楼主能否把您的东西长在硅片或者ITO上 可能会好点
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xiaoxiaojinglin[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:04 资料 个人空间 短消息  加为好友 添加 xiaoxiaojinglin 为MSN好友 通过MSN和 xiaoxiaojinglin 交谈

 小中大

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可在样品上镀一层金膜，提高导电性
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发表于 2015-10-8 15:04 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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减小电压，或者调下光斑直径
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发表于 2015-10-8 15:05 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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导电性不行，如果能喷金，最好喷一层金，另外调下电压……往小了调
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发表于 2015-10-8 15:06 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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可再适当降低些加速电压，很多样品在被电子轰击的时候都会出现这个现象。
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xiaoxiaoai[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:06 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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调低电压是关键
喷金有改善，但改善比较小
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malong[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:07 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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明显就是电子长时间轰击一个地方导致的
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rrra6[使用道具]
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发表于 2015-10-8 15:08 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

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你样品有污染，或者不导电，高温分解，建议把样品洗干净，去掉所有可能的污染，表面活性剂等等，用导电性基底，另外喷金，加速电压已经不高了，不建议调，WD建议调高一点，你样品污染这么厉害的话长期这么近的用容易污染极靴，日电的场发射5kV，WD10mm左右至少能上到100k的，不会有分辨率问题
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