小中大不知道你解决了没有,我刚学了一种测量方法比较准确,需要使用imageJ,配合拍到的STEM 图像,这是我的样品帮你说一下步骤。
首先用线量取标尺,之后在Analyze中选setscale 填写你的pixels数和你标尺代表的真实长度
之后用Plugins中的Gauss_fit
加大一点line的宽度,然后点Fit25/75,给出的dX就是分辨率,分辨率取决于probe size,当probe很小的时候,这两个值基本相等。在这个图里大约可以说probe size是0.4nm,但是不足的是在零点几个纳米的时候误差有点大。