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标题:[未解决]【转载】【求助】点扫光斑大小

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发表于 2015-10-12 16:00 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】点扫光斑大小

想到一个问题，各位点扫打能谱的时候光斑一般多大？
望大家不吝赐教！
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发表于 2015-10-12 16:00 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
在尺寸范围内，根据计数率和死时间来决定
一般设定几个nm左右的束斑，但是实际是会扩展到十几个nm甚至更大
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发表于 2015-10-12 16:01 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #2 但是 的帖子

恩，我用F30做的时候都快30nm了，所以想知道大家一般能达到多小。
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