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加速电压愈高, 能量越大并打在样品电子的波长越短。打在样品上的电子能量决定激发X射线系和它们的相对强度。对定量计算, 软件须准确的电压值。电压越高, 高能入射电子穿透越深并散射更宽进样品, 所以激发体积越大。为此选择20KV 比较好, 尤其在样品未知时, 这个电压至少一系列X射线将被激发.
在以下情况下选择低加速电压:
1.轻元素的准确定量, 由于低电压下低穿透将减小吸收较正。
2.小颗粒的分析, 或厚度小于10mm 薄膜, 小的激发体积将增强这些特性的贡献。
此外高电压将激发高能射线, 在20KV 溴 K 线被激发但在10KV 仅溴 L系被激发和铝的K 系重迭.