X射线多晶体衍射（XRD）

我公司有一台CMI900测厚仪,最近搞个新项目,铜基材上镀镍磷,钯,金,测厚时发现当钯镀得比较薄,或者没有镀钯时,测出的结果钯都有7微英寸以上,但用标准片(钯的标准片厚度为14.4微英寸)校准时,测出的结果又是准确的,而且镀得比较厚时又比较准确,有哪位高手知道是什么原因吗,

先将你要测的镀层例为Au/Pd/Ni-p/Cu ，Au(金）为表面层，Pd(钯）为第二镀层，Ni-P(镍磷合金）为第三镀层，Cu为基层。（这种镀法以表壳多见）

    一次测量此三种镀层通常是FP的分析方法，这种方法要求有较高的检测分辨率，因为Ni/Cu两种元素在正比例计数管接收下难以分辩（除非加以物理过滤）。加了物理过滤器要准确分析三种镀层也是比较困难的，建议分开成两次测量。当然，要一次准确测量出三种镀层的厚度不是不可能，也有一些仪器能做到的，只是价格比较贵，这些仪器采用的检测器是Si-Li半导体检测器

归根到底还是因为你的标片单一，做出来的工作曲线单一吧

建议使用不同Pd厚度的标准片建立工作曲线。

换用为库仑法测厚试试，0.1微米的精度，该可以了。

CMI900测镍钯金根本测不准!因为CMI900的接收器是充气本的比例接收器，对于钯的信号很难分辨，需要改用半导体的接收器，我们厂也是测不准钯，不过现在买了一台美国博曼的进口膜厚仪器，现在镍钯金测的非常好!只是价格比CMI900要贵一些。