小中大【转载】请教,反馈功率过大,点火不成功
仪器是Agilent 7700 X ICP-MS, 是这样的,点火数次,基本上会报两个错,一个是1202即反馈功率超时,反馈功率未在匹配值以下,这个表现的现象为射频功率达到200w左右时,反馈功率在130-140之间;还有一个是1203,点火不成功,表现为射频功率达到700左右时,反馈功率达到370-400;总体就是反馈功率过高,而且也按推荐的点火排查过程排查过了,检查氩气,去掉连接管封住矩管,去掉屏蔽圈,更换矩管,都没有效果,问题如一,也请教了工程师,只是简单告诉是矩管后面的一个反馈装置可能有问题,但显然不满足这个说法,所以想请教一下各位老师,会是什么原因,多谢!