【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度

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标题:【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度

哈密瓜[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:21 资料个人空间短消息加为好友

小中大

请教各位大神，在扫描电镜下观看渗氮层厚度是用二次电子还是背散射电子？

jishiben[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:22 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

背散射电子应该更清楚一些，背散射电子像是元素衬度像，二次电子是形貌像。建议背散射电子像，同时结合EDS能谱的面扫、线扫模式进行表征。

女儿情[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:22 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

嗯，不过一般我会都拍的，毕竟二次电子表面形貌分辨率高点，而且好多电镜都可以同时受到这俩信号作比较的

8899[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:23 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

恩，，是。但是我用背散射电子放大到5000X都没有看到渗层，用二次电子却能看到边缘白亮层，不知道你有没有遇见过这种情况

大花猫bb[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:23 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

用二次电子却能看到边缘白亮层，但是有老师说这个白亮层可能是由于二次电子下的边缘效应，不知道这是怎么回事，用二次电子得到的数据可靠性大吗

zouyou[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:23 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

是有可能，比较尖锐的边缘会比较白。没有啥可靠性的问题啊，图片不会说谎的，关键是你要解释的合理

今生如此[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:24 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

二次电子像中的白亮区域或者层状区域，多数时候并不是因为原子序数造成，而更多时候是边缘效应，或者电荷累积造成。我尝试过二次电子区别不同物相，实话实说，确实能看出衬度不同的两种物相，但是相差非常小。切换到背散射电子模式，就清晰很多。你所说的情况有没有可能是渗层比较薄？或者渗层并不均匀？我觉得像这种看渗层啊之类的，EDS或者EPMA的元素线扫或者面扫，更清晰。

大大[使用道具]
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发表于 2015-11-16 17:24 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

恩，谢谢，准备打eds线扫描试一下