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标题:[未解决]【转载】【求助】每次启动电镜30分钟后，机械泵自动停转

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
jkh123[使用道具]
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发表于 2015-11-22 13:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】每次启动电镜30分钟后，机械泵自动停转

最初是插入样品杆后需要2个多小时，P3才能抽到34；现在发展到每次启动电镜30分钟后，机械泵自动停转，真空上不去。不知是什么原因。
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nsdm[使用道具]
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发表于 2015-11-22 13:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
刚启动，机械泵抽的镜筒和照相室，你看看从开机到机械泵停止工作时，各个真空值的变化，记录一下
如果数值是在变化的，说明机械泵没有问题，那么就要看离子泵能正常工作，记录其工作状态，离子泵的工作需要在打到一个真空数量级方可工作，如果低于这个值，又会重新用机械泵抽，如此反复
如果某一个有问题，说明其中的阀门虽然显示是开启的，但是其实是未打开的，需要工程师来测量这个阀门快关的输入电压和信号通畅情况
具体的解决方法，建议直接和工程师对话，如果他们的建议解决不了问题，只能要求其上门检修了
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坚持2011[使用道具]
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发表于 2015-11-22 13:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
看看扩散泵是不是加热了？
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