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标题:【求助】高真空二次电子分辨率

rrra6[使用道具]
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发表于 2015-11-23 13:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】高真空二次电子分辨率

高真空二次电子分辨率：≤3.0nm@30kv是什么意思？
还有高真空模式下优于6×10-4 PA???    高手快出现:tiger28:
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malong[使用道具]
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发表于 2015-11-23 13:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

应该是在30KV加速电压下分辨率小于等于3nm
第二个应该是说该设备可保持较高真空度吧
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xiaoxiaoai[使用道具]
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发表于 2015-11-23 13:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

对于第二个参数，我认为应该是说，在高真空模式下，其观察室的真空度小于等于6×10-4 PA。像我们学校的那台场发射SEM，有常压模式，低真空模式和高真空模式，真空度依次降低…
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兔子[使用道具]
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发表于 2015-11-23 13:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

30KV加速电压下分辨率小于等于3nm
10-4也不算高的真空。。。超高真空能10-8Pa呢
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