【求助】我做的是TiAlN、TiN等金属硬质薄膜，

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标题:【求助】我做的是TiAlN、TiN等金属硬质薄膜，

danzi[使用道具]
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发表于 2015-11-28 12:58 资料个人空间短消息加为好友

小中大

大家好。我做的是TiAlN、TiN等金属硬质薄膜，一直在寻求测量残余应力的方法，听人介绍说拉曼能做，不知道有没有这方面做过的人，或者对拉曼光谱比较了解的人知道能不能做？如果能，应该怎么做？

zouyou[使用道具]
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发表于 2015-11-28 12:58 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

利用拉曼或者XRD谱来分析涂层或者薄膜的残余应力，一般是通过与标准峰位比较来进行。
据我所知，氮化物是没有拉曼峰的，碳化物倒是有。
如果真的可以，建议LZ上传相关文献，以便讨论。

8899[使用道具]
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发表于 2015-11-28 12:59 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

拉曼峰是可以测的，拉曼测得的是散射粒子的强度峰，通过与标准峰位对比可以看出表面是有张应力还是压应力，有些文献中说过一些残余应力的的算法，LZ可以找找

xiaoxiaojinglin[使用道具]
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发表于 2015-11-28 12:59 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

拉曼散射是可以用来分析硬质薄膜的应力状态的。
在《碳材料的拉曼光谱--从纳米管到金刚石》一书的P253-P255，有一段介绍，lz可以参考一下。
另外，长春理工大学的一篇硕士论文《金刚石膜的应力研究》，里面详细介绍了采用拉曼分析应力的方法，并简单介绍了一些其他测应力的方法，可以去看看。
希望这些资料能给lz提供有用的参考。。

dadaai[使用道具]
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发表于 2015-11-28 12:59 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

谢谢avad老师的热心答疑。刚到小木虫来，并还不知道怎么上传文献，
我看到有一篇文献叫：Inﬂuence of the texture on Raman and X-ray diffraction characteristics of
polycrystalline AlN ﬁlms。里面介绍了下AlN的拉曼光谱测试应力，只是还是找不到TiN的。

886爱[使用道具]
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发表于 2015-11-28 13:00 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

我看到有一篇文献里面有介绍AlN的拉曼光谱测试应力，只是还是找不到TiN的。请问您有这方面的文献吗

yuanyuan[使用道具]
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发表于 2015-11-28 13:00 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

谢谢季岩冰老师的热心答疑。我这就去看看。还有就是我做的是金属陶瓷的硬质涂层。主要是TiN，TiAlN等方面的氮化物。请问您有这方面拉曼光谱测残余应力的文献吗

蓝色雨梦[使用道具]
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发表于 2015-11-28 13:01 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

这个倒没有，因为我主要是做的金刚石膜的相关研究，所以收集的主要就是金刚石膜的一些文献，至于你说的TiN，TiAlN等方面的氮化物那方面的我倒没有怎么关注，不过用拉曼测应力的原理都是一样的，你可以看看别人怎么分析金刚石膜的应力，继而想想自己这个该怎么分析处理。。

冰激凌[使用道具]
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发表于 2015-11-28 13:01 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

我是做GaN的，关于TiN的我还真没有。。。你再问问别人吧~

xgy412[使用道具]
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发表于 2015-11-28 13:02 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

记得JMR在2008年发过一篇印度人的文章，好像也是氮化物的，但是不是谈论应力问题的，建议你去找一下，看是否适合。
另外，楼上说得的多是碳化物。

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