小中大如果你要求的空间分辨率不是很高,有以下方法可以增加一些counts:
1: 尽量选择比较大的 condenser aperture, 这是最有效增加 counts 的方法, 但是会有比较大的 condenser stigma,会降低很多分辨率;
2.可以试试比较大的spot size (我说的大是实际电镜参数 spot size 数字 小),同时这样也会降低你的空间分辨率;
3.做mapping 的时候,在保证样品漂移比较下的情况下,pixel 采集时间长些,建议选上 drift correction;
基本上 就这些了,平衡好分辨率和counts, 另外如果你的元素比较轻 或者EELS 有比较好的edge, 可以选择做 STEM-EELS.