扫描电镜之家

本人做扫描电镜想用单晶抛光硅片做支撑料，不知道该购买具体什么型号的硅片，想问问大家。
如：
直径（这个无所谓）
单面抛光（这个必须的）
电阻率：（这个不清楚应该是多少，应该是越小越好吧？）
晶型：P型还是N型？晶面？
厚度：？

单晶硅片参数
生长方法 直拉CZ
直径与公差 (mm) 150.0 ± 0.2
型号/掺杂剂 P型/硼
            N型/磷、砷、锑
晶向 <100> / <111>
电阻率 (Ω.cm) 0.003-50
径向电阻率变化 (%) P< 6
                            N< 25
氧含量与公差  5.0-7.8 × ± 0.5
径向氧含量变化 (%) < 5
碳含量 (at ) ≤ 2.0×
金属铁含量 (at ) ≤ 1.0×
表面金属 (at) 铜 / 铬 / 铁 / 镍 ≤ 5.0×
铝 / 锌 / 钾 / 钠 / 钙 ≤ 2.0×
厚度 (微米) 按SEMI标准或用户要求
厚度公差 (微米) ±15或用户要求
总厚度变化 TTV (微米) < 2.5
平整度 TIR (微米) < 1.2
局部平整度 STIRmax (微米) < 0.3
翘曲度 (微米) < 30
颗粒 (# per wafer) < 30 (for size > 0.2 微米)  
编号 规格
BZ3012      2英寸
BZ3013      3英寸
BZ3014      4英寸

其实硅片只是个载体，就是有电阻也没什么，使用之前一般是要喷金的。

如果样品是粉体，弄很少量在硅片上，SEM前也要喷金么？

关键是看你的样品的导电性，要是金属粉末就不用喷金，要是导电性不是很好，就需要喷金。

再问，这样的硅片做过SEM后是否可以清洗后重复利用，我做ZnO，可能要喷金。

ZNO应该不用喷金。直接看，非得在硅片上干嘛呢？

氧化锌是量子点，属于半导体材料，但是一般要是想看SEM还是需要喷金的，效果会好一些，再有不在硅片上，应该在什么上？
金片？
直接看，是指的什么》？
没有载体的话，看到的杂质和量子点怎么区分？
硅片每次只用一点点，可以洗洗在用，但是没这必要，呵呵。

亲，能不能请教下单晶硅片在用完之后怎么清洗，在网上找了找也没有找到什么好的方法。我刚买了单晶硅片，在用之前需要清洗莫？？？

请问制样问题，我想问一下，做出氧化锌颗粒，怎么将它们附在硅片上呢，我只会附在云母片上。一直找不到附在硅片上的资料，请各位大侠指点，我要测氧化锌颗粒的导电性