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标题:【求助】想通过能谱在不破坏涂层的情况

8899[使用道具]
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【求助】想通过能谱在不破坏涂层的情况

有一个零件(外面覆盖着MoS2涂层,大概5um),这个零件所用的金属材料我只能锁定几种,但不能确认是哪一种。想通过能谱在不破坏涂层的情况下,辨别零件所用的金属材料。大家觉得这样可行吗??
大家还有其他好方法吗???
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dadaai[使用道具]
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【回复】

做XRD岂不是更好
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zouyou[使用道具]
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【回复】

扫描电镜的激发下特征X射线的深度约是100-1000nm,其激发体积约10um^3。所以显然对于你的涂层来说是不行的。一般认为X射线深度不超过0.02mm,所以具体能不能做XRD也需要实践证明。
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蓝色雨梦[使用道具]
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【回复】

:用SEM中的EDS做元素面扫描,其反映的是多少深度的信息?
RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数,不同的加速电压,穿透深度不一样,电压越高,X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深,重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压,元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右,重元素可能在几百纳米。
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哈密瓜[使用道具]
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【回复】

我也有一个零件,不过我当时是测金属上的涂层的成分的,测试结果发现涂层是二硫化钼,呵呵。会不会和你是一个零件啊?
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xiaoxiaoai[使用道具]
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【回复】

据说网上有一个蒙特卡罗模拟的程序,可以计算出穿透的深度及体积,你可以搜一下,另外我觉得EDS应该测不出来你那么厚的膜
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malong[使用道具]
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【回复】

5u,应该可以,试试就知道了
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【回复】

场发射扫描能谱分辨率在1微米左右。乌灯丝的分辨率要更大一些,主要是乌灯丝的电子束斑大。
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无怨无悔[使用道具]
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【回复】

场发射扫描能谱分辨率在1微米左右。乌灯丝的分辨率要更大一些,主要是乌灯丝的电子束斑大。错!!!::rol:
束斑是可调的,场发射灯丝比乌灯丝穿透深度在同一条件下要深
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