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标题:【求助】做EDS线扫描一样,需要先制备涂层的截面试样呢?

yayayu[使用道具]
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【回复】

溅射的快慢还要看涂层材料,像碳膜就很慢。
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yuanyuan[使用道具]
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【回复】

你的试样明显太厚了,应该离子减薄以后再做,一般要求一微米以下,太厚了对离子枪有损害人家不愿意做。再有就是不会破坏样品,只是有一个区域被溅射掉了
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yayayu[使用道具]
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【回复】

您好,请问哪里可以做俄歇电子。我也有个样品想测量氧化膜厚度,大概几十nm。
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