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我的理解，简单来说，Coma就是beam tilt，调Coma－free就是把相对于光轴有一定tilt的电子束调到与光轴平行。 调的方法呢，就是让电子束以当前电子束所在的轴线为对称轴来回摇摆（角度固定，可以设定），估测（目测或者电脑分析）在两个电子束倾转位置时像的欠焦量，倾转电子束直到电子束来回摇摆时像的欠焦量没有明显变化。