ICP-MS

常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI,atm等。近似换算关系如下：
　　1MPa=1000KPa
　　1KPa=1000Pa
　　1标准大气压=100KPa=0.1MPa（近似值，在要求不高的场合近似计算，用于粗略计算）
　　1标准大气压=1公斤(Kgf/cm2)（近似值，用于粗略计算）=760mmHg
　　1标准大气压=14.5PSI（近似值，用于粗略计算）
　　1KPa=10mbar
　　1bar=1000mbar
　　1atm=101325Pa (atm表示一个标准大气压作为参考量)
      .........................

这个东西很实用！

实用，不错！

太实用了，感谢楼主哦！

试了一下，可惜我用不着！

补充说明！
m3/h 流量单位， 立方米每小时，
l/m    流量单位， 升每分钟，
l/s     流量单位， 升每秒，
cfm   流量单位， 立方英尺每分钟。

大家习惯用什么真空单位？

1、真空常用数据及单位换算

1.1 真空区域划分

1、真空常用数据及单位换算

1.1 真空区域划分

真空区域
压强范围
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760~10
101325～1333
中真空
10~10-3
1333～1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1～10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6～10-10
极高真空
＜10-12
＜10-10


1.2 流速与漏率

Pa·l/s
mbar·l/s
Torr·l/s
atm·cm3/s
sccm
1Pa·l/s
1
10
7.5
9.87
59.2
1 mbar·l/s
0.1
1
0.75
0.987
5.92
1 Torr·l/s
0.133
1.33
1
1.32
78.9
1 atm·cm3/s
0.101
1.01
0.76
1
60
1 sccm
1.69×10-3
1.69×10-2
1.27×10-2
1.67×10-2
1



1.3 抽气速率单位换算表

单位
立方米/秒(m3/s)
升/秒(L/s)
立方米/小时
立方英尺/分
1立方米/秒(1m3/s)
1
1000
3600
2118.88
1升/秒(1L/s)
10-3
1
3.6
2.119
1立方米/小时(1m3/h)
2.78×10-4
0.278
1
0.59
1立方英尺/分(1cft/min)
4.72×10-4
0.47
1.69
1

1.4 常用压强单位换算表


帕
Pa        托
Torr        微米汞柱
μmHg        微巴
μbar        毫巴
mbar        大气压
atm        工程大气压
am        英寸汞柱
inHg        磅/英寸2
lb/in2
1 Pa        1        7.5
×10-3        7.5        10        10-2        9.86923
×10-6        1.0197
×105        2.953
×10-4        1.450
×10-4
1 Torr        133.32        1        103        1333.2        1.3332        1.31579
×10-3        1.3595
×10-3        3.937
×10-2        1.934
×10-2
1 μmHg        0.13332        10-3        1        1.3332        1.3332
×10-3        1.31579
×10-6        1.3595
×10-6        3.937
×10-5        1.934
×10-5
1 μbar        10-1        7.5
×10-4        7.5
×10-1        1        10-3        9.86923
×10-7        1.0197
×10-6        2.953
×10-5        1.450
×10-5
1 mbar        102        7.5
×10-1        7.5
×102        103        1        9.86923
×10-4        1.0197
×10-3        2.953
×10-2        1.450
×10-2
1 atm        101325        760        760×103        1013.25
×103        1013.25        1        1.0333        29.921        14.696
1 am        98066.3        735.56        735.56
×103        980663        980663
×10-3        0.967839        1        28.959        14.223
1 inHg        3386        25.4        25.4×103        3.386×104        33.86        3.342
×10-2        3.453
×10-2        1        4.912
×10-1
1 lb/in2        6895        51.715        51.715
×103        6.895×104        68.95        6.805
×10-2        7.031
×10-2        2.086        1

1.5 20℃空气在不同压强下的分子平均自由程

P(托)
1
10-3
10-4
10-5
10-6
10-9
λ(厘米)
4.72×10-3
4.72
47.2
472
4720
4.72×106



1.6 不同压强下空气分子密度


P(托)
1
10-3
10-4
10-5
10-6
10-9
n0(个/厘米3)
4×1016
4×1013
4×1012
4×1011
4×1010
4×107


1.7 各种橡胶特性表

橡胶种类
天然橡胶
丁基橡胶
丁腈橡胶
氟橡胶
特性1
耐水性，耐酸性，耐碱性良好
渗透率小
耐油良好
23型耐强酸
特性2
出气量较大
升华严重
弹性较好
26型渗透率低出气率小
真空范围
1×10－5托
10－7托
10－8托
10-8托
温度
－30~80℃
－30~150℃
－30~120℃
-20~200℃

1.8 真空泵的种类及其工作范围


真空泵
工作范围(托)
真空泵
工作范围(托)
旋片真空泵
760~5×10-4
往复真空泵
760~10-2
滑阀真空泵
760~5×10-3　　
吸附泵
760~10-4
油增压泵
10-1~10-4
溅射离子泵
10-4~10-10
罗茨真空泵
10-1~10-4　　
钛升华泵
10-3~10-10
油扩散泵
10-3~5×10-7　　
分子泵
10-3~10-10
水环真空泵
760~25
低温泵
10-3~10-10