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【求助】

用SEM + EDS对抛光表面进行了mapping，但是只能得到元素分布图，及选定路径上元素浓度的变化，无法用origin绘制曲面分布信息。
此外，用纳米压痕仪进行了测试，由于衬底效应相邻两测点的间距要保持50~60nm，实际落入ITZ内的有效测定较少，采用倾斜线测量时，则沿测点轨迹方向很难观测到明显的起伏规律。
请问各位大牛，有没有好的测试方法推荐，或者怎么改进测试方法，谢谢。