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製作薄膜橫截面TEM樣品,通常會使用G1膠將兩片試片膜對膜對黏,G1膠屬於非晶結構。若確定不是G1膠的話,則是以下,離子減薄確實會使結晶材料非晶化,就是結晶材料被打爛的意思。我遇到的此種狀況通常是打薄時間太久,解決方法有二:1.多在研磨機上多磨幾下,確定邊緣是磨掉並不是斷掉。2.檢查離子打薄機的校正。
有一些不明顆粒沉積在薄膜上(感覺髒髒的),確實是金屬環材料被沉積在試片上,但是你是製作橫截面試片應該要用一上一下的離子束進行打薄,不太會有此問題,當然如果離子束入射角度太低就變成在sputtering金屬環材料了,而你的試片相對就變基材。以上個人實驗經驗供你參考。