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标题:【求助】做扫描电镜时EDS元素峰重叠的时候吗

今生如此[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】做扫描电镜时EDS元素峰重叠的时候吗

一般做能谱时，取回的数据是已经分析好的图谱、元素浓度比例结果，可是因为能谱仪能量分辨率低，经常遇到峰位重叠的情形，比如Si Ka1 (1.740KeV)与Ta M(1.710KeV)，在谱线上根本分不出来
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daomei[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好
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PP熊[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

没有做过相关的工作，但是Ramman光谱以及部分吸收光谱中经常用到分峰拟合的分析方法
感觉这里应该也可以吧
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wwwh[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

lz可以看看其他的峰，是否含有硅。如果不行，就做XPS和XRF，这是最直接的。
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malong[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了
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兔子[使用道具]
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发表于 2016-2-8 13:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

用高斯分峰的拟合方法
如果有Ta的话，那么它在8.04，9.17，和1.33处也应该有峰吧。如果这几个地方都没有可以确定没有Ta。
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