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标题:[未解决]【转载】【求助】TF20 gun shift 怎么调？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
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发表于 2016-2-10 09:07 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】TF20 gun shift 怎么调？

最近发现TF20的beam被调成了三角形，大概是gun shift与condenser stigmation没有调好的原因。
调gun shift发现最亮点不在beam中或者在beam边沿，用MF-XY也拉不到中心。
请教1：这时如何调gun shift；
2： stigmation怎样调才能算调好了？
多谢！
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发表于 2016-2-10 09:23 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
1 亮点不在中间不是用gun shift调的 是用gun tilt调的
2 spot size比较大的时候 大放大倍数下 beam的确是三角形的 调成对称的等角三角即可
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发表于 2016-2-10 09:24 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
gun shift是把亮点从边上拉到中央的。
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发表于 2016-2-10 09:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #3 但是 的帖子

是TF20？ 那你照我说的做就可以了
如果差的很远 打电话联系FEI的工程师 咨询一下如何做Gun部分的alignment
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