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标题:[未解决]【转载】【求助】有什么办法可以去除G1胶而不损坏Si的么？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
铃儿响叮当[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:13 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】有什么办法可以去除G1胶而不损坏Si的么？

有块MBE长的Si样品上面有些III-V，需要看横截面的加热In-situ样品变化的情况，感兴趣的区域在样品最表层的10nm厚。表面不能有对贴的G1胶，因为G1胶在表面就会影响加热以后样品的变化。
常规做样（研磨，tripod）试验了两个多月都失败了，除了FIB，请教各位还有什么办法可以做？
我另外想问的是，有没有什么化学试剂可以溶解（腐蚀）G1胶却不会损坏Si的么？
多谢啦
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ay123[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:14 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
有点没看明白，是截面样品还是平面样品，如果截面样品出了薄区，你可以用氩离子清洗试试，一般都是用它清理有机物什么的，不知道对G1胶有没有效。
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发表于 2016-2-11 08:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #2 ay123 的帖子

谢谢先，这个试过了，离子清洗只能去除表面有机物，对于G1胶无能为力。
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jkh123[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
没有看明白 G1胶是什么时候到表面的？你是说在样品减薄好以后要去掉表面的胶？把打好的样品在丙酮里面多泡一会行吗？
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熊猫[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:16 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我刚刚看错了，G1在截面中间吧。G1该属于Epoxidharz-Klebstoff, 用后似乎只能机械的方法去除。
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铃儿响叮当[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:17 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #5 熊猫 的帖子

嗯，G1是在截面中间。问了Gatan的人，说确实没有什么化学试剂去除G1胶的办法。
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铃儿响叮当[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:17 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
如图所示，样品需要看的是横截面，兴趣区是样品表面（不是横截面的表面）大约10nm的区域，表面有纳米级的小孔，不能被G1胶覆盖（否则就没有机会看到加热的情况了）。试了很久都没有成功，悲催啊
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小红[使用道具]
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发表于 2016-2-11 08:17 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
你的离子减薄仪有带冷台的吗，如果有我给你一个建议可以，应该可以行的。
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