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标题:【求助】测试薄膜的XRD导致样品的峰被压得看不见了

跳跳哈里[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:43 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】测试薄膜的XRD导致样品的峰被压得看不见了

不知道大家的在测试薄膜的XRD会不会带出衬底的信息，目前我测试的时候总是衬底的峰太强，导致样品的峰被压得看不见了！！郁闷啊。。有没有谁有比较好的解决方法啊、、
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hcy517[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

看是什么基底了啊，一般用的硅片基底是特定晶面，没有峰。但是如果是氧化铝基底就会有。
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rrra6[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

我的是硅衬底哇，在111方向的。。刚好在我样品峰的附近。。直接给压没了
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哈密瓜[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

硅片的衬底怎么会没峰呢？！！！！除非是非晶的衬底。
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发表于 2016-2-23 22:45 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

我觉得你可以利用软件对硅的峰处理一下，毕竟只是你薄膜的峰被压的很低。你在作图的时候把Y轴坐标范围选在你薄膜峰强的范围内就好了。
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wwwh[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:45 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

还有一种方法是如果你不需要基体的峰，你可以把薄膜挂下来，再打XRD!
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发表于 2016-2-23 22:45 资料 个人空间 短消息  加为好友 QQ

 小中大

【回复】

做的是薄膜啊。。就在200nm左右，，不能太厚呢:tuzi17::tuzi17:
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wawa11[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

对啊，，硅衬底一般都有峰的
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efp[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:46 资料  个人空间 短消息  加为好友 QQ

 小中大

【回复】

我用jade处理了，，但由于衬底峰和薄膜特征峰相距很近，所以效果还不是很好哇
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PP熊[使用道具]
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发表于 2016-2-23 22:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

是不是你的薄膜太薄啊？我以前也遇到过这种情况，薄膜太薄，而且不致密，容易出现基板的峰
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