扫描电镜之家

实验中用扫描电镜看薄膜截面时，玻璃基底不知怎的老是发亮光，而且聚焦时由于发生漂移而无法成功聚焦得到清晰的薄膜断面图像，而看到文献中报道的的薄膜器件截面图都很清晰，请问该问题是什么原因造成的？操作电镜或样品制备过程中如何避免呢？谢谢

发亮光？你喷金了么，还有玻璃和样品台要连起来，否则不导电不行的，不可能发亮光的一般，总之你要保证要看的面导电性够好，而且电流能导到样品台上

谢谢回复。关于“发亮光”，我可能描述的不太准确，但我也不知道怎么描述好些，总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体，因此没有喷金，看表面没有问题，很清晰，但截面就不行。我们观察截面时是将样品垂直放置即截面水平，实际还是测表面（将玻璃衬底一侧用双面胶垂直粘在样品台上的，胶带应该是导电胶带）。
如果按你说的电流需要导到样品台上，那恐怕我制样还是有问题，因为玻璃本身不导电。但是这样的话，为什么薄膜表面观察时却没问题呢，测表面时薄膜和导电胶之间也是隔着玻璃的啊，电流恐怕也不能传到样品台上。

难道需要只在玻璃截面处喷上金吗？感觉这样很难操作啊，大家是怎样测试的呢？

v贴在90度样品台，表面用导电胶和台子贴起来，然后对截面喷金，你这截面整个都不导电肯定要放电的，光看膜短时间它电子不会大量聚在一个点，还好点

哦，可能就是因为电荷积聚造成的。明白该怎么做了，谢谢！

这个显然是要喷金啊，玻璃基本就不导电，喷金要厚一点才行

场发射扫描电镜用背散射电子成像，玻璃基底和薄膜的成像是不一样，可以看薄膜厚度。平时用的二次电子成像看起来差别不大。

背散射的分辨率差很多的。。一般的薄膜和基底的结合都不会那么紧，应该能看到分界面的，总之能拍二次电子形貌还是二次电子，背散射可以作为辅助证据，或者开始照的时候做个参考，如果分不清界面的话