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标题:[未解决]【转载】：【求助】微米厚度的薄膜怎么测XRD

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
jiushi[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:45 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】：【求助】微米厚度的薄膜怎么测XRD

大家好，我有一个大约一微米厚的薄膜，现在想测试XRD， 表征薄膜的取向特征，但是我发现试样太薄了，怎么测都没有信号出现呀。

想请教大家有没有什么好的解决办法。
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adg[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
TEM是不是更好一点
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ass[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
TEM是不是更好一点
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happydream[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:47 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我感觉TEM只是测试的一个很小的范围，不能表征薄膜的整体取向特征的。
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iop[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
你可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试
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jiankufanhan[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗？那个角一般是多少比较合适呢，我是表征取向的。

谢谢你的帮助。。。
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nmn[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗？

答：是XRD对于薄膜样品的仪器，叫GID，掠入射小角X射线衍射。

需用专门的仪器。

谢谢大家指正！
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shuishui[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
掠入射角一般在0.5到1°之间，根据膜的厚度来调节角度，膜厚角度可以适当大点
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teddy[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
其实用普通模式也可以的，估计你的问题是薄膜没有对准到光路中
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vbnm[使用道具]
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发表于 2016-3-5 14:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
对准后我们几十纳米的薄膜也能测试出来的
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