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标题:【求助】场发射扫描电镜的问题：测试样品变黑像烧掉一样

双子座[使用道具]
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发表于 2016-3-7 11:55 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】场发射扫描电镜的问题：测试样品变黑像烧掉一样

我的样品是二氧化钛薄膜，载体用的是一般的载玻片，高温600℃煅烧成晶型后，做场发射扫描电镜的时候，电子束打上去变成黑的，像是烧掉了一样，怎么回事啊？做二氧化钛膜之前的模板用的高分子聚合物：聚苯乙烯微球，做场发射的时候也是电子束打上去变成黑的，像是烧掉了一样....高人解释一下，怎么回事？
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886爱[使用道具]
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发表于 2016-3-7 11:55 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

高分子的物质经过电子束一打就很容易塌陷并变黑，因为电子束的能量过高，致使打过区域物质分解，而且你的只是薄膜，基材还是不导电的物质，即使上面是导电的薄膜，但是电子经过一层不导电的物质，其电子还是无法流出去形成通路。避开这些不导电的物质和高分子材料，如果还变黑的话，那就有可能是你的镜头已经积碳
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jishiben[使用道具]
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发表于 2016-3-7 11:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

不要让电子束在样品的一个区域停留太长时间。或者你可以在保证图像质量的前提下适当降低加速电压
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 小中大

【回复】

我的是纯钨的材料，当时也是打的时间过长之后出现了一圈黑色的痕迹，这个没办法，只能是在一个区域看了之后，照了几张满意照片后赶紧换区域，不要在一个区域停留时间过长！
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xiaoxiaoai[使用道具]
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 小中大

【回复】

解决的办法就是喷金，然后用导电胶把待测的薄膜与样品台连接起来，效果会好点。因为你的薄膜很薄，用的模板剂又是高分子的，载体又是一般的载玻片，导电性肯定很差
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发表于 2016-3-7 11:57 资料  个人空间 短消息  加为好友 QQ

 小中大

【回复】

我想问你个问题，你在烧600度得到合适的晶型的时候，聚苯乙烯在里面不会碳化吗？你是用马弗炉烧得吗？封闭着烧得吗？在烧得过程中有没有通氧气啊？多谢你啦！
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发表于 2016-3-7 11:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

上面喷层碳就ok了，在真空蒸镀仪里。
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发表于 2016-3-7 11:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

一般样品如果放大倍率大，加速加压高，样品导电性不好，都会造成造成这种情况
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发表于 2016-3-7 11:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

高分子的物质经过电子束一打就很容易塌陷并变黑，因为电子束的能量过高，致使打过区域物质分解，而且你的只是薄膜，基材还是不导电的物质，即使上面是导电的薄膜，但是电子经过一层不导电的物质，其电子还是无法流出去形成通路。避开这些不导电的物质和高分子材料，如果还变黑的话，那就有可能是你的镜头已经积碳了。
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发表于 2016-3-7 11:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

解决的办法就是喷金，然后用导电胶把待测的薄膜与样品台连接起来，效果会好点。因为你的薄膜很薄，用的模板剂又是高分子的，载体又是一般的载玻片，导电性肯定很差
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