小中大【回复】
标准样品与校正:美国国家标准局(现称国家标准和技术研究院)提供的检定扫描电镜放大倍数的标准样品的最小刻度为一微米,由于视场有限,用这种标样检定5万倍以上的放大倍数有困难,所以,检定5万倍以上的放大倍数需要使用比对性标样.
比对性标样可以从具有精细结构的样品中选取,例如:相邻的两条刻线间距小于一微米的物理光栅.
将选定的比对性标样和测定扫描电镜放大倍数的标样一起固定在扫描电镜的样品台上.首先将比对性标样调整到标准工作距离的位置上,然后把比对性标样上选定的间距小于一微米的两条标记线平移到显像管荧光屏的中心位置上,将扫描电镜调整到最佳工作状态,细心聚焦后拍摄标记线的照片.
用比长仪在照片上测量出比对性标样标记线的放大间距和检定扫描电镜放大倍数标样标记线的放大间距.计算出比对性标样标记线的标定间距,重复10次如果误差不大于百分之三,则表明该样品可以作为比对性标样检定扫描电镜放大倍数.