小中大通过非晶碳膜来消物镜像散是做高分辨的一项基本功。而物镜像散的消除通常是放在合轴的最后一步。而前面我们要做是照明系统和成像系统的合轴。
一， 照明系统合轴中的关键步骤就是GUNI TILT的调整, 也就是灯丝像的对中。它是确保我们使用的电子束是从灯丝的尖端发射出来的，也就是我们得到的是最好的相干光源。
二， 照明系统中电压中心的调整是决定物镜像散好坏的关键步骤。
1， 粗调：
1） 在X50K将光斑聚成3~4cm的大小后移到荧光屏的中心。
2） 按下HT WOB按键（当它按下后，将在原有高压基础上又施加了一个波动电压），这时光由于高压的变化会发生扩大和收缩的变化，所以人们也将电压中心称之为扩大中心。如果它是同心收放的，电压中心就很接近了，然后接着做细调。但如果它是前后左右有方向性的晃动话，就需要通过将BRIGHT TILT按亮后通过DEF X/Y将光斑调成原地的同心收缩。
2， 细调：
在X100K将一明锐目标物移到荧光屏的中心，聚焦图像，将光斑散开，按下HT WOB按键，通过目镜观察样品有无方向性的晃动，如有将BRIGHT TILT按亮后通过DEF X/Y将图像调成原地的同心收缩
三， 调节物镜像散：
1， 粗调：可以通过一个小的微栅孔来调节，我们知道，当过焦时出黑边，欠焦时出亮边。如果没有像散的话，在过焦时整个孔内将同时出现均匀的黑边。而有像散时，在某一对称方向将出现黑边，而与其成90度另一对称方向将出现亮边。此时我们通过目镜观察，先调节聚焦钮使孔中所有方向的黑边都消失，然后再顺时针调节细聚焦钮使某一方向的黑边刚刚出现（效果达到逆时针1-2档黑边就又消失），然后按亮OBJ STIG按键，通过DEF X/Y将这个黑边调没。再顺时针调节聚焦钮使黑边再出现，然后通过DEF X/Y使其再消失，如此重复直至当过焦1-2档后孔中的黑边同时出现。
2， 细调：由于物镜像散要在较高倍数下调节，而随着倍数的增加我们很难再从目镜中观察到整个的圆孔了。这时我们就要通过非常薄的非晶边缘来调节。通过DEF X/Y的调节我们要达到这样的效果，当正焦时我们已经无法分出样品的边界了，整个非晶膜完全与无样品的区域融为一体，此时我们通过细聚焦钮过焦或欠焦1-2档，里面的细节会一下涌现出来，那感觉就像质地非常细腻的沙滩，颗粒均匀没有方向性的拉长。如果越不好的话，在正焦时边界会越明显，而且沙滩上的颗粒是拉长的有流动性的感觉。
这种感觉只有你慢慢的体会了。
