【转载】【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊？求解

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标题:[未解决]【转载】【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊？求解

[未解决]本主题悬赏可用分 1

longquan[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:06 资料个人空间短消息加为好友

小中大

各位大侠！
本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况，（具体需要知道氧化层的厚度，分布和成分），用什么测试方法。高手指教
谢谢！
CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射，厚度大概几个微米。
XRD小角可以看表面的氧化层吗？XPS能分析出氧化物吗？因为氧化膜很薄（估计几个纳米），所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。

small2011[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:07 资料个人空间短消息加为好友

小中大

建议放到X射线版面。

龙泉[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:07 资料个人空间短消息加为好友

小中大

可以尝试用小角度的X射线衍射

longquan[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:08 资料个人空间短消息加为好友

小中大

回复 #3 龙泉的帖子

尝试了，不可以。没信号

small2011[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:08 资料个人空间短消息加为好友

小中大

是不是通过测定氧化物含量评价合金的好坏？

longquan[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:08 资料个人空间短消息加为好友

小中大

回复 #5 small2011 的帖子

不是的，因为要在合金表面再沉积别的元素，所以需要知道沉积前氧化的怎么样？比如深度多少，氧化物成分。我想XPS应该可以做氧化物的成分分析，但是深度的精确信息就不知道怎样准确得知了。depth profile 应该不可以吧？TEM的cross-section 可以看到表面氧化层的明显边界吗？如果可以，我想这样最好了。

龙泉[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:09 资料个人空间短消息加为好友

小中大

辉光光谱可以测随深度变化的元素含量，可以尝试

longquan[使用道具]
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发表于 2016-4-11 17:09 资料个人空间短消息加为好友

小中大

没用过这个。那还不如SIMS的精度高吧？
辉光放电的detect limit和depth resolution分别是多少？需要calibrate深度吗

small2011[使用道具]
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