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标题:[未解决]【转载】ICP-MS分子涡轮泵开不起来

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
happydream[使用道具]
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发表于 2016-4-11 21:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】ICP-MS分子涡轮泵开不起来

ICP-MS分子涡轮泵开不起来怎么回事？有没有版友碰到过？
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iop[使用道具]
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发表于 2016-4-11 21:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
前级真空有没有达到分子泵启动要求。
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jiankufanhan[使用道具]
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发表于 2016-4-11 21:53 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
具体报什么错呢
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nmn[使用道具]
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发表于 2016-4-11 21:53 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
报的是1101Error:Vacuum(BK) time out, Vacuum too hight to start turbo pump.真空太高，无法启动分子涡轮泵，问了工程师，可能我们使用的是A的D450泵与爱德华泵不一样吧，现在还在等待中。
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