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标题:【求助】我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜

大嘴猴[使用道具]
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【求助】我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜

我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜,用SEM测量时,测量的区域一会儿(小于1分钟)就会发黑,影响测量,如图。请问,谁碰到过并了解这是怎么回事。大家交流下。


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xgy412[使用道具]
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【回复】

样品的导电性不好 在聚焦的时候局部电压过高 样品温度过高而变黑的!
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hcy517[使用道具]
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【回复】

同意二楼的看法 楼主能否把您的东西长在硅片或者ITO上 可能会好点
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【回复】

可在样品上镀一层金膜,提高导电性
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xiaoxiaoai[使用道具]
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【回复】

减小电压,或者调下光斑直径
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wawa11[使用道具]
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【回复】

导电性不行,如果能喷金,最好喷一层金,另外调下电压……往小了调
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【回复】

可再适当降低些加速电压,很多样品在被电子轰击的时候都会出现这个现象。
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【回复】

调低电压是关键
喷金有改善,但改善比较小
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【回复】

明显就是电子长时间轰击一个地方导致的
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冰激凌[使用道具]
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【回复】

你样品有污染,或者不导电,高温分解,建议把样品洗干净,去掉所有可能的污染,表面活性剂等等,用导电性基底,另外喷金,加速电压已经不高了,不建议调,WD建议调高一点,你样品污染这么厉害的话长期这么近的用容易污染极靴,日电的场发射5kV,WD10mm左右至少能上到100k的,不会有分辨率问题
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