小中大

SEM纳米尺度尺寸测量时的误差是多少？

在测量纳米尺度的尺寸时(大概20nm左右)，被要求添加误差(尺寸±误差范围)？不太熟悉SEM，请问大神们，SEM测量的误差范围是多少?
是单一的测量，不是统计值