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标题:[未解决]转帖 Quantum 真空不够，可能是什么原因引起的？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 2  
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发表于 2007-7-18 14:17 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

转帖 Quantum 真空不够，可能是什么原因引起的？

上周发现ION GAUGE的真空降到 10（－5）了，仪器开不了了，启动就提示高压被强制关掉已经换过了离子源的主板，还有ION GAUGE，（今天上午到的，换上去真空度还是不够）忽略离子源高压，运行真空自检，全部通过自检CID气也检查过了，控制阀工作正常哪位达人遇到过这种情况么？或者请大大们给点意见，问题还有可能是什么呢？
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发表于 2007-7-18 14:17 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
两个真空电容漏气！
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发表于 2007-7-18 14:18 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
你说的真空电容具体是哪里的电容呢？
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发表于 2007-7-18 14:18 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
叫Detector Capacity。总共有二个，Q1、Q3各一个。
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发表于 2007-7-18 14:19 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
detector capacitor（你应该指的是这个吧），但是Q1Q3里面只有电压控制，好像没有detector

不过听你这么说，我倒是觉得有可能是Q1Q3的控制线圈连接到真空室的地方可能有漏气（我们确实拆过线圈，从右边拆掉后看到的那两个大金属盒子）。当时是Q1的RF控制出了问题，估计放回去的时候刮到了什么，或者乱七八糟的可能性都有……
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