光谱分析

光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米，采用直接测量法难度大、成本高，利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上，建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分辨本领的归一化模型，揭示了光栅衍射波前与分辨本领的求取关系，提出了依据泽尼克多项式拟合系数求取衍射光栅分辨本领的新方法。根据该方法实测了一块衍射光栅的分辨本领，并与直接测量法进行对比测试。结果表明该方法误差小于4.42%，降低了分辨本领的测试难度，是衍射光栅分辨本领求取的有效手段，应用于ZYGO干涉仪等仪器中，通过简单的波前测试即可得到定量的衍射光栅分辨本领指标。