超声喷雾热解法制备SnS薄膜的物性研究

用超声喷雾热解法制备SnS多晶薄膜,对比了三种不同前驱液配比浓度对SnS薄膜性能的影响。XRD测试表明,当前驱液为硫脲(0.5 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,SnO2的衍射峰强度比较大;当前驱液为硫脲(0.6 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,SnS的衍射峰占主要地位,其中也含有一定量的SnO2;当前驱液为硫脲(0.7 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,退火后的薄膜为单一的SnS薄膜,具有斜方晶系结构。SEM观测发现,薄膜均匀、致密,前驱液中硫脲浓度较大时,颗粒也较大。透过谱测试表明,浓度对薄膜透过率影响较小。结合器件的暗I-V和C-V测试,用三种前驱液配比浓度所制备的器件的结特性差异不大;当前驱液中硫脲浓度较大时,载流子浓度相对较大。