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【转载】【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊?求解
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作者:
longquan
时间:
2016-4-11 17:06
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【转载】【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊?求解
各位大侠!
本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况,(具体需要知道氧化层的厚度,分布和成分),用什么测试方法。高手指教
谢谢!
CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射,厚度大概几个微米。
XRD小角可以看表面的氧化层吗?XPS能分析出氧化物吗?因为氧化膜很薄(估计几个纳米),所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。
作者:
small2011
时间:
2016-4-11 17:07
建议放到X射线版面。
作者:
龙泉
时间:
2016-4-11 17:07
可以尝试用小角度的X射线衍射
作者:
longquan
时间:
2016-4-11 17:08
标题:
回复 #3 龙泉 的帖子
尝试了,不可以。没信号
作者:
small2011
时间:
2016-4-11 17:08
是不是通过测定氧化物含量评价合金的好坏?
作者:
longquan
时间:
2016-4-11 17:08
标题:
回复 #5 small2011 的帖子
不是的,因为要在合金表面再沉积别的元素,所以需要知道沉积前氧化的怎么样?比如深度多少,氧化物成分。我想XPS应该可以做氧化物的成分分析,但是深度的精确信息就不知道怎样准确得知了。depth profile 应该不可以吧?TEM的cross-section 可以看到表面氧化层的明显边界吗?如果可以,我想这样最好了。
作者:
龙泉
时间:
2016-4-11 17:09
辉光光谱可以测随深度变化的元素含量,可以尝试
作者:
longquan
时间:
2016-4-11 17:09
没用过这个。那还不如SIMS的精度高吧?
辉光放电的detect limit和depth resolution分别是多少?需要calibrate深度吗
作者:
small2011
时间:
2016-4-11 17:10
期待你最后的解决办法
作者:
13880416070
时间:
2019-5-6 17:03
标题:
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