【求助】作用体积的厚度因信号有什么不同

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• 今生如此 (2015-1-29 12:09:44)

  作用体积的厚度因信号的不同而不同：
  欧革电子：0.5～2纳米。
  次级电子：5λ，对于导体，λ=1纳米；对于绝缘体，λ=10纳米。
  背散射电子：10倍于次级电子。
  特征X射线：微米级。
  X射线连续谱：略大于特征X射线，也在微米级。

• wwwh (2015-1-29 12:10:26)

  工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。
  如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。
  如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。
  通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

• jishiben (2015-1-29 12:11:04)

  次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。

• 兔子 (2015-1-29 12:11:44)

  欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层（参见作用体积），所以只能用于表面分析。

• 兔子 (2015-1-29 12:12:15)

  表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。