【求助】请问透射电镜做EDS微区分析的最小范围是多少

最新回复

• jishiben (2016-2-06 17:48:16)

  做到这么小的区域没意义啊，你的各种元素总不能都在1nm范围内

• mimima (2016-2-06 17:48:35)

  我想知道一般最小能较为精确的探测范围？几纳米？

• xiaoxiaojinglin (2016-2-06 17:49:01)

  我做过5nm左右的，0.1nm恐怕达不到吧，关键在于对焦，EDS本身就是定性的，没法准确定量分析。区域选小了，就更不准了吧。

• wwwh (2016-2-06 17:49:24)

  没做过透射电镜， 做能谱的话，是不是都是用STEM来做微区分析啊！
  对于普通钨灯丝电子枪，我觉得最小束斑尺寸可能在几个纳米以上，没有可能分析1nm范围。
  六硼化镧电子枪也不行。
  对于场发射电子枪，是否可以分析1nm范围，从束斑尺寸上看应该问题不大，但0.1nm基本没有任何可能

• hcy517 (2016-2-06 17:49:46)

  我2nm的也做过  0.1nm的没有做过，很模糊了吧，我那台tem世界上都没几台的，我觉得能做到2nm的，其他一般的tem效果差一点的，可能就不能再低下去了
  但是eds这么小范围没有意义啊
  你是想看看某纳米杂质的成分吗？
  不是想看杂质的话，eds这个定性的测试，不同地方，不同尺度多测试几遍 看看

• hcy517 (2016-2-06 17:50:06)

  想看纳米杂质的话，EDS选取多大范围好呢？
  比如我想我看一个硅纳米线上的碳分布