【求助】溶胶凝胶制备的VO2薄膜

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我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜,用SEM测量时,测量的区域一会儿(小于1分钟)就会发黑,影响测量,如图。请问,谁碰到过并了解这是怎么回事。大家交流下。
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最新回复

  • wwwh (2016-2-25 16:02:17)

    样品的导电性不好 在聚焦的时候局部电压过高 样品温度过高而变黑的!
  • 冰激凌 (2016-2-25 16:02:42)

    同意二楼的看法 楼主能否把您的东西长在硅片或者ITO上 可能会好点
  • 钻石 (2016-2-25 16:03:14)

    可在样品上镀一层金膜,提高导电性
  • yayayu (2016-2-25 16:03:36)

    减小电压,或者调下光斑直径
  • 钻石 (2016-2-25 16:03:56)

    导电性不行,如果能喷金,最好喷一层金,另外调下电压……往小了调
  • jishiben (2016-2-25 16:04:16)

    可再适当降低些加速电压,很多样品在被电子轰击的时候都会出现这个现象。
  • huali (2016-2-25 16:04:39)

    调低电压是关键
    喷金有改善,但改善比较小
  • 大大 (2016-2-25 16:05:07)

    明显就是电子长时间轰击一个地方导致的
  • 燕子@ (2016-2-25 16:05:28)

    你样品有污染,或者不导电,高温分解,建议把样品洗干净,去掉所有可能的污染,表面活性剂等等,用导电性基底,另外喷金,加速电压已经不高了,不建议调,WD建议调高一点,你样品污染这么厉害的话长期这么近的用容易污染极靴,日电的场发射5kV,WD10mm左右至少能上到100k的,不会有分辨率问题
  • rrra6 (2016-2-25 16:05:53)

    你做的膜怎么样啊?  我的貌似都没成圆颗粒,跟哑铃似得
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