【求助】溶胶凝胶制备的VO2薄膜

字体: 小中大 | 打印发表于: 2015-10-08 15:02 作者: zouyou 来源: 分析测试百科网

我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜，用SEM测量时，测量的区域一会儿（小于1分钟）就会发黑，影响测量，如图。请问，谁碰到过并了解这是怎么回事。大家交流下。

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rrra6 (2015-10-08 15:03:20)

样品的导电性不好在聚焦的时候局部电压过高样品温度过高而变黑的！
huali (2015-10-08 15:03:52)

同意二楼的看法楼主能否把您的东西长在硅片或者ITO上可能会好点
xiaoxiaojinglin (2015-10-08 15:04:24)

可在样品上镀一层金膜，提高导电性
hcy517 (2015-10-08 15:04:56)

减小电压，或者调下光斑直径
wwwh (2015-10-08 15:05:31)

导电性不行，如果能喷金，最好喷一层金，另外调下电压……往小了调
qinqinai (2015-10-08 15:06:11)

可再适当降低些加速电压，很多样品在被电子轰击的时候都会出现这个现象。
xiaoxiaoai (2015-10-08 15:06:48)

调低电压是关键
喷金有改善，但改善比较小
malong (2015-10-08 15:07:24)

明显就是电子长时间轰击一个地方导致的
rrra6 (2015-10-08 15:08:01)

你样品有污染，或者不导电，高温分解，建议把样品洗干净，去掉所有可能的污染，表面活性剂等等，用导电性基底，另外喷金，加速电压已经不高了，不建议调，WD建议调高一点，你样品污染这么厉害的话长期这么近的用容易污染极靴，日电的场发射5kV，WD10mm左右至少能上到100k的，不会有分辨率问题
efp (2015-10-08 15:08:47)

你做的膜怎么样啊？我的貌似都没成圆颗粒，跟哑铃似得