【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度

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请教各位大神,在扫描电镜下观看渗氮层厚度是用二次电子还是背散射电子?
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最新回复

  • jishiben (2015-11-16 17:22:11)

    背散射电子应该更清楚一些,背散射电子像是元素衬度像,二次电子是形貌像。建议背散射电子像,同时结合EDS能谱的面扫、线扫模式进行表征。
  • 女儿情 (2015-11-16 17:22:33)

    嗯,不过一般我会都拍的,毕竟二次电子表面形貌分辨率高点,而且好多电镜都可以同时受到这俩信号作比较的
  • 8899 (2015-11-16 17:23:06)

    恩,,是。但是我用背散射电子放大到5000X都没有看到渗层,用二次电子却能看到边缘白亮层,不知道你有没有遇见过这种情况
  • 大花猫bb (2015-11-16 17:23:31)

    用二次电子却能看到边缘白亮层,但是有老师说这个白亮层可能是由于二次电子下的边缘效应,不知道这是怎么回事,用二次电子得到的数据可靠性大吗
  • zouyou (2015-11-16 17:23:53)

    是有可能,比较尖锐的边缘会比较白。没有啥可靠性的问题啊,图片不会说谎的,关键是你要解释的合理
  • 今生如此 (2015-11-16 17:24:14)

    二次电子像中的白亮区域或者层状区域,多数时候并不是因为原子序数造成,而更多时候是边缘效应,或者电荷累积造成。我尝试过二次电子区别不同物相,实话实说,确实能看出衬度不同的两种物相,但是相差非常小。切换到背散射电子模式,就清晰很多。你所说的情况有没有可能是渗层比较薄?或者渗层并不均匀?我觉得像这种看渗层啊之类的,EDS或者EPMA的元素线扫或者面扫,更清晰。
  • 大大 (2015-11-16 17:24:36)

    恩,谢谢,准备打eds线扫描试一下
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