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【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度
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发表于: 2015-11-16 17:21 作者: 哈密瓜 来源: 分析测试百科网
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【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度
请教各位大神,在扫描电镜下观看渗氮层厚度是用二次电子还是背散射电子?
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【求助】扫描电镜下观看渗氮层厚度
我也来说两句
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jishiben
(2015-11-16 17:22:11)
背散射电子应该更清楚一些,背散射电子像是元素衬度像,二次电子是形貌像。建议背散射电子像,同时结合EDS能谱的面扫、线扫模式进行表征。
女儿情
(2015-11-16 17:22:33)
嗯,不过一般我会都拍的,毕竟二次电子表面形貌分辨率高点,而且好多电镜都可以同时受到这俩信号作比较的
8899
(2015-11-16 17:23:06)
恩,,是。但是我用背散射电子放大到5000X都没有看到渗层,用二次电子却能看到边缘白亮层,不知道你有没有遇见过这种情况
大花猫bb
(2015-11-16 17:23:31)
用二次电子却能看到边缘白亮层,但是有老师说这个白亮层可能是由于二次电子下的边缘效应,不知道这是怎么回事,用二次电子得到的数据可靠性大吗
zouyou
(2015-11-16 17:23:53)
是有可能,比较尖锐的边缘会比较白。没有啥可靠性的问题啊,图片不会说谎的,关键是你要解释的合理
今生如此
(2015-11-16 17:24:14)
二次电子像中的白亮区域或者层状区域,多数时候并不是因为原子序数造成,而更多时候是边缘效应,或者电荷累积造成。我尝试过二次电子区别不同物相,实话实说,确实能看出衬度不同的两种物相,但是相差非常小。切换到背散射电子模式,就清晰很多。你所说的情况有没有可能是渗层比较薄?或者渗层并不均匀?我觉得像这种看渗层啊之类的,EDS或者EPMA的元素线扫或者面扫,更清晰。
大大
(2015-11-16 17:24:36)
恩,谢谢,准备打eds线扫描试一下
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jishiben (2015-11-16 17:22:11)
女儿情 (2015-11-16 17:22:33)
8899 (2015-11-16 17:23:06)
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今生如此 (2015-11-16 17:24:14)
大大 (2015-11-16 17:24:36)
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